直接測量流體質(zhì)量流量的精密儀器，適用于氣體和液體的精確計(jì)量與控制。
直接測量質(zhì)量流量，精度高，重復(fù)性好，量程比寬
316L不銹鋼材質(zhì)，適用于各種腐蝕性介質(zhì)
響應(yīng)速度，實(shí)時(shí)監(jiān)測流量變化
小巧體積，節(jié)省安裝空間，適合各種設(shè)備集成
微型科氏質(zhì)量流量計(jì)/控制器可以對流體介質(zhì)的質(zhì)量流量進(jìn)行精確的測量和精密的控制。它們在半導(dǎo)體和集成電路工業(yè)、特種材料學(xué)科、化學(xué)工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。其典型的應(yīng)用場合包括：電子工藝設(shè)備，如擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入；以及鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置、混氣配氣系統(tǒng)、毛細(xì)管測量、氣相色譜儀及其他分析儀器。
直接測量質(zhì)量流量，精度高，對流體介質(zhì)的溫度、壓力和粘度等不敏感
重復(fù)性好，量程比寬，適用于各種流體介質(zhì)
適用于電子工藝設(shè)備、鍍膜設(shè)備、光纖熔煉、微反應(yīng)裝置等高端應(yīng)用
微型科氏質(zhì)量流量計(jì)/控制器由流量管、陶瓷震蕩器、光電信號(hào)拾取器、電阻溫度計(jì)、電信號(hào)處理單元、顯示單元和電磁控制閥等組成，信號(hào)拾取器1位于流量輸入端，信號(hào)拾取器2和3位于流量輸出端.信號(hào)拾取器1和2相對于流量管中軸對稱。
科氏質(zhì)量流量控制器開機(jī)后流量管被陶瓷震蕩器激勵(lì)做自激振蕩，直至平衡。此時(shí)三個(gè)信號(hào)拾取器處將持續(xù)產(chǎn)生正弦波電壓信號(hào)。當(dāng)流體介質(zhì)沒有流動(dòng)時(shí)，三個(gè)流量管信號(hào)拾取器所在位置沒有相對形變，沒有產(chǎn)生科里奧利力，產(chǎn)生的正弦波電壓信號(hào)相位差為0.當(dāng)流體介質(zhì)流動(dòng)時(shí)，信號(hào)拾取器1和2處產(chǎn)生的科里奧利力方向相反，使流量管產(chǎn)生扭曲運(yùn)動(dòng)，從而使信號(hào)拾取器1和2處所產(chǎn)生的正弦波電壓信號(hào)相位差不為0，由于相位差和質(zhì)量流量成正比，根據(jù)之前標(biāo)定的數(shù)據(jù)計(jì)算出質(zhì)量流量。而信號(hào)拾取器3用于相位補(bǔ)償。
流量控制采用PID算法控制電磁閥，精確并快速的控制流量管中的流體質(zhì)量流量達(dá)到設(shè)定值。
微型科氏質(zhì)量流量計(jì)/控制器提供多種型號(hào)，滿足不同應(yīng)用場景的需求：
| 產(chǎn)品類型 | 型號(hào)代碼 | 量程范圍 | 精度 | 主要應(yīng)用 |
|---|---|---|---|---|
| 質(zhì)量流量計(jì) | CX-CMFM-CS-F1 | 0-30 kg/hr | ±0.5% FS | 實(shí)驗(yàn)室研究、分析儀器 |
| 質(zhì)量流量計(jì) | CX-CMFM-CS-F2 | 0-50 kg/hr | ±0.5% FS | 半導(dǎo)體工藝、特種材料 |
| 質(zhì)量流量計(jì) | CX-CMFM-CS-F3 | 0-100 kg/hr | ±0.5% FS | 化工過程、石油工業(yè) |
| 質(zhì)量流量計(jì) | CX-CMFM-CS-F4 | 0-300 kg/hr | ±0.5% FS | 工業(yè)批量生產(chǎn)、環(huán)保監(jiān)測 |
| 質(zhì)量流量控制器 | CX-CMFC-CS-F1 | 0-30 kg/hr | ±0.5% FS | 精密配氣、科研實(shí)驗(yàn) |
| 質(zhì)量流量控制器 | CX-CMFC-CS-F2 | 0-50 kg/hr | ±0.5% FS | CVD、等離子刻蝕、濺射 |
| 質(zhì)量流量控制器 | CX-CMFC-CS-F3 | 0-100 kg/hr | ±0.5% FS | 光纖熔煉、微反應(yīng)裝置 |
| 質(zhì)量流量控制器 | CX-CMFC-CS-F4 | 0-300 kg/hr | ±0.5% FS | 混氣配氣系統(tǒng)、工業(yè)控制 |
注：以上為標(biāo)準(zhǔn)型號(hào)，可根據(jù)客戶需求定制特殊量程、精度、接口和材質(zhì)。所有產(chǎn)品出廠通常用氣體氮?dú)?N?)液體水(HO?)標(biāo)定，如需要使用其他氣體標(biāo)定，請?jiān)谟嗀洉r(shí)說明。
選擇適合的微型科氏質(zhì)量流量計(jì)/控制器時(shí)，請考慮以下因素：
| 考慮因素 | 選擇要點(diǎn) | 建議 |
|---|---|---|
| 流量范圍 | 根據(jù)實(shí)際應(yīng)用的最大和最小流量確定 | 選擇量程比實(shí)際最大流量稍大的型號(hào) |
| 介質(zhì)類型 | 氣體或液體，腐蝕性或非腐蝕性 | 根據(jù)介質(zhì)選擇相應(yīng)的密封材料和接頭材質(zhì) |
| 精度要求 | 根據(jù)工藝要求的控制精度確定 | 常規(guī)應(yīng)用選擇±0.5%，高精度應(yīng)用可選擇更高等級(jí) |
| 壓力條件 | 工作壓差和最大耐壓 | 確保產(chǎn)品耐壓高于系統(tǒng)最大壓力 |
| 控制需求 | 只需測量還是需要控制 | 測量選擇CMFM，控制選擇CMFC |
| 接口類型 | 電氣接口和氣路接頭 | 確保與現(xiàn)有系統(tǒng)兼容 |
溫馨提示：如果您不確定如何選擇合適的型號(hào)，我們的技術(shù)團(tuán)隊(duì)可以提供免費(fèi)的選型咨詢服務(wù)。請?zhí)峁┠膽?yīng)用場景、介質(zhì)特性、流量范圍、壓力條件和精度要求等信息。
| 量程范圍 | 0~300kg/h |
|---|---|
| 重復(fù)精度 | ±0.1% FS |
| 耐壓 | 3.0 MPa |
| 線性 | ±0.1~0.5% FS |
| 工作壓差 | 0.1~0.5 MPa |
| 工作環(huán)境溫度 | 0~70℃ |
| 準(zhǔn)確度 | ±0.5% FS（氣） ±0.25% FS（液） |
| 數(shù)字量接口 | RS485 MODBUS協(xié)議 |
| 供電 | DC +24V |
| 電氣連接 | DB15 |
| 漏率 | 1×10?? SCCS He |
| 底座材質(zhì) | 16L不銹鋼 |
| 密封材質(zhì) | 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠 |
| 氣路接頭 | Φ3，Φ6，Φ10，1/8〞,1/4〞，3/8〞 |
注：以上參數(shù)為標(biāo)準(zhǔn)配置，可根據(jù)客戶需求定制特殊規(guī)格產(chǎn)品。
微型科里奧利質(zhì)量流量計(jì)/控制器廣泛應(yīng)用于各種工業(yè)領(lǐng)域，特別適合需要精密流量測量和控制的場合。
用于擴(kuò)散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入等電子工藝設(shè)備
用于化工過程控制、反應(yīng)釜加注、混氣配氣系統(tǒng)、微反應(yīng)裝置
用于制藥過程中氣體流量精密控制和監(jiān)測
用于環(huán)境監(jiān)測、廢氣處理系統(tǒng)中的氣體流量測量
用于實(shí)驗(yàn)室研究、分析儀器、氣相色譜儀、毛細(xì)管測量等科研場合
用于真空鍍膜、真空爐等設(shè)備中的氣體流量控制
用于光纖熔煉過程中的精密氣體流量控制
用于特種材料學(xué)科研發(fā)與生產(chǎn)中的氣體流量精確測量和控制
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