182-2103-2874

氣體質(zhì)量流量計/控制器

提供高精度氣體質(zhì)量流量計與控制器，采用熱式原理，精度1%F.S，流量范圍覆蓋0-3000SLM。支持LCD數(shù)顯、RS485通訊，適用于半導體、化工、科研等領(lǐng)域。

產(chǎn)品概述質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller 縮寫為 MFC）用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工...

測量精度 ±1%F.S
工作溫度 0-70℃
量程范圍 0~3000SLM
工作壓差 0.1-0.5MPa
工作溫度 0-70℃
產(chǎn)品描述
型號規(guī)格
技術(shù)參數(shù)
應用領(lǐng)域

產(chǎn)品概述

質(zhì)量流量控制器（Mass Flow Controller 縮寫為 MFC）用于對氣體的質(zhì)量流量進行精密測量和控制。它們在半導體和集成電路工業(yè)、特種材料學科、化學工業(yè)、石油工業(yè)、醫(yī)藥、環(huán)保和真空等多種領(lǐng)域的科研和生產(chǎn)中有著重要的作用。

產(chǎn)品特點

高精度測量

準確度±1%F.S，重復精度±0.2%F.S，線性±0.5-1.5%F.S

快速響應

響應時間1-4秒，電特性10秒，實時監(jiān)測和控制流量變化

多種接口

RS485 MODBUS協(xié)議，4-20mA/0-5V模擬量輸出，DB15電氣連接

工作原理

CX系列氣體質(zhì)量流量控制器卓越的精度、堅固性及可靠性源于我公司獨特的傳感器探頭。該密封探頭由兩傳感元件組成——速度傳感器及溫度傳感器，能自動校正溫度及壓力變化產(chǎn)生的影響。儀表電路將速度傳感器加熱到高于氣體溫度的一個常數(shù)值，然后測量氣體流量的冷卻效果。通過測量保持恒溫差所消耗的電功率與氣體的質(zhì)量流量成正比的原理計算流量。

氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)

質(zhì)量流量控制器、質(zhì)量流量計出廠時一般用空氣或者氮氣標定，實際使用中如果是其他氣體，必要時可進行讀數(shù)修正，方法是以流量顯示儀顯示的流量乘以流量轉(zhuǎn)換系數(shù)。

氣體代號轉(zhuǎn)換系數(shù)氣體代號轉(zhuǎn)換系數(shù)
空氣0081.006氮氣0011.415
氬氣0041.415氮氣0131.000
氧氣0150.992氫氣0071.010
二氧化碳0250.737甲烷0280.719
氨氣0290.719氦氣0021.415

注：以上為部分常用氣體的轉(zhuǎn)換系數(shù)，完整的氣體轉(zhuǎn)換系數(shù)表請參考產(chǎn)品說明書。對于混合氣體，其轉(zhuǎn)換系數(shù)需按特定公式計算。

CX系列型號規(guī)格表

CX系列提供多種型號的氣體質(zhì)量流量計和控制器，覆蓋從≤10 SCCM到3000 SLM的流量范圍，滿足不同應用需求。

數(shù)顯氣體質(zhì)量控制器選型表

型號代碼流量范圍供電電壓輸出信號顯示通訊精度連接方式
GMFC-CXB-4-R4-D-A1-F1≤10 SCCM24V0-5V / 4-20mALCDRS485±1%FS6mm卡套
GMFC-CXB-4-R4-D-A1-F210 SCCM - 30 SLM24V0-5V / 4-20mALCDRS485±1%FS6mm卡套
GMFC-CXB-4-R4-D-A1-F330 - 150 SLM12-24V0-5V / 4-20mALCDRS485±1%FS10mm卡套
GMFC-CXB-4-R4-D-A1-F4150 - 250 SLM12-24V0-5V / 4-20mALCDRS485±1%FS10mm卡套
GMFC-CXB-4-R4-D-A1-F5300 - 1000 SLM24V0-5V / 4-20mALCDRS485±1%FS12mm卡套
GMFC-CXB-4-R4-D-A1-F61000 - 2000 SLM24V0-5V / 4-20mALCDRS485±1%FS12mm卡套
GMFM-CXB-4-R4-D-A1-F72000 - 3000 SLM24V0-5V / 4-20mALCDRS485±1%FS12mm卡套

數(shù)顯氣體質(zhì)量流量計選型表

型號代碼流量范圍供電電壓輸出信號顯示通訊精度連接方式
GMFM-CXB-4-R4-D-A1-F1≤10 SCCM12-24V0-5V / 4-20mALCDRS485±1%FS6mm卡套
GMFM-CXB-4-R4-D-A1-F210 SCCM - 30 SLM12-24V0-5V / 4-20mALCDRS485±1%FS6mm卡套
GMFM-CXB-4-R4-D-A1-F330 - 150 SLM12-24V0-5V / 4-20mALCDRS485±1%FS10mm卡套
GMFM-CXB-4-R4-D-A1-F4150 - 250 SLM12-24V0-5V / 4-20mALCDRS485±1%FS12mm卡套
GMFM-CXB-4-R4-D-A1-F5300 - 1000 SLM12-24V0-5V / 4-20mALCDRS485±1%FS12mm卡套
GMFM-CXB-4-R4-D-A1-F61000 - 2000 SLM12-24V0-5V / 4-20mALCDRS485±1%FS12mm卡套
GMFM-CXB-4-R4-D-A1-F72000 - 3000 SLM12-24V0-5V / 4-20mALCDRS485±1%FS12mm卡套

模擬氣體質(zhì)量控制器選型表

型號代碼流量范圍供電電壓輸出信號顯示精度連接方式
GMFC-CXC-A-N-A1-F1≤10 SCCM±15V / 24V0-5V / 4-20mA無顯示±1%FS6mm卡套
GMFC-CXC-A-N-A1-F210 SCCM - 30 SLM±15V / 24V0-5V / 4-20mA無顯示±1%FS6mm卡套
GMFC-CXC-A-N-A1-F330 - 150 SLM±15V / 24V0-5V / 4-20mA無顯示±1%FS10mm卡套

模擬氣體質(zhì)量流量計選型表

型號代碼流量范圍供電電壓輸出信號顯示精度連接方式
GMFM-CXC-A-N-A1-F1≤10 SCCM24V0-5V / 4-20mA無顯示±1%FS6mm卡套
GMFM-CXC-A-N-A1-F210 SCCM - 30 SLM24V0-5V / 4-20mA無顯示±1%FS6mm卡套
GMFM-CXC-A-N-A1-F330 - 150 SLM24V0-5V / 4-20mA無顯示±1%FS10mm卡套

型號代碼說明

代碼含義說明
GMFC氣體質(zhì)量流量控制器帶控制功能
GMFM氣體質(zhì)量流量計僅測量功能
CXB數(shù)顯系列帶LCD顯示和通訊功能
CXC模擬系列無顯示，模擬信號輸出
代碼位置代碼含義說明
輸出信號44-20mA輸出電流信號輸出
通訊接口R4RS485通訊MODBUS協(xié)議
顯示類型DLCD顯示數(shù)顯功能
顯示類型N無顯示模擬型號
信號類型A10-5V輸出電壓信號輸出
流量范圍F1≤10 SCCM微小流量
流量范圍F210 SCCM - 30 SLM小流量
流量范圍F330 - 150 SLM中等流量
流量范圍F4150 - 250 SLM大流量
流量范圍F5300 - 1000 SLM超大流量
流量范圍F61000 - 2000 SLM工業(yè)級流量
流量范圍F72000 - 3000 SLM特大型流量

選型指南

選擇適合的氣體質(zhì)量流量計/控制器型號時，請考慮以下因素：

應用場景推薦型號系列理由
實驗室研究GMFC-CXB / GMFM-CXB F1-F2系列小流量范圍，高精度測量，LCD顯示，適合實驗室環(huán)境
半導體工藝GMFC-CXB F1-F3系列精確控制，RS485通訊，適合工藝氣體控制
工業(yè)過程控制GMFC-CXB F3-F5系列中等流量，穩(wěn)定可靠，適合工業(yè)環(huán)境
環(huán)保監(jiān)測GMFM-CXB F2-F4系列流量測量，數(shù)據(jù)記錄，RS485通訊
OEM設(shè)備集成GMFC-CXC / GMFM-CXC系列無顯示，體積小巧，適合設(shè)備內(nèi)置
大型工業(yè)裝置GMFC-CXB F5-F7系列大流量控制，工業(yè)級可靠性

溫馨提示：所有產(chǎn)品均采用氮氣標定，如使用其他氣體需進行系數(shù)轉(zhuǎn)換。如果您不確定如何選擇合適的型號，我們的技術(shù)團隊可以提供免費的選型咨詢服務。請?zhí)峁┠膽脠鼍?、介質(zhì)特性、流量范圍、精度要求和安裝環(huán)境等信息。

主要技術(shù)參數(shù)

測量精度 ±1%F.S
工作溫度 0-70℃
量程范圍 0~3000SLM
工作壓差 0.1-0.5MPa
工作溫度 0-70℃
耐壓 3MPa（高壓定制咨詢工程師）
數(shù)字量 RS485 MODBUS 協(xié)議
模擬量 DC 0-5V , 4-20mA 可選
供電 DC +15V/24V 可選，流量計<400mA，控制器<600mA
底座材質(zhì) 316L 不銹鋼
密封材質(zhì) 氟橡膠，丁晴橡膠，氯丁橡膠
氣路接頭 Φ3, Φ6, Φ10, 1/8″, 1/4″, 3/8″

注：以上參數(shù)為標準配置，可根據(jù)客戶需求定制特殊規(guī)格產(chǎn)品。

應用領(lǐng)域

CX系列氣體質(zhì)量流量計/控制器廣泛應用于各種工業(yè)領(lǐng)域，特別適合需要精密氣體流量測量和控制的場合。

半導體制造

用于擴散、外延、CVD、氧化、等離子刻蝕、濺射、離子注入等工藝

化學工業(yè)

用于化工過程控制、反應釜加注、混氣配氣系統(tǒng)

制藥行業(yè)

用于制藥過程中氣體流量精密控制和監(jiān)測

環(huán)保監(jiān)測

用于環(huán)境監(jiān)測、廢氣處理系統(tǒng)中的氣體流量測量

科研實驗

用于實驗室研究、分析儀器、氣相色譜儀等

真空技術(shù)

用于真空鍍膜、真空爐等設(shè)備中的氣體流量控制

光伏產(chǎn)業(yè)

用于太陽能電池板制造過程中的氣體流量精確控制

醫(yī)療設(shè)備

用于呼吸機、麻醉機等醫(yī)療設(shè)備中的氣體輸送控制

獲取定制化解決方案

我們的工程師將在24小時內(nèi)聯(lián)系您，提供專業(yè)的產(chǎn)品選型建議和技術(shù)支持