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CX-PRN15 熱陰極真空計

CX-PRN15熱陰極真空計，集成皮拉尼與熱陰極技術(shù)，測量范圍110??~110?Pa，響應(yīng)<100ms。配備5位LED顯示、兩路可編程控制開關(guān)、RS485通訊及模擬輸出，適用于半導(dǎo)體、真空鍍膜、科研等高真空測量場景。

CX-PRN15 是一款集成皮拉尼（Pirani）與熱陰極（Hot Cathode）技術(shù)的寬量程真空計，適用于從高真空到低真空的連續(xù)測量。該產(chǎn)品具備獨立的真空計功能，帶有5位LED...

反應(yīng)時間 <100ms
重量 450 g
耐壓 1.5×10?Pa
測量范圍 1.0×10?? Pa ~ 1.0×10? Pa
防護等級 IP40（IEC529）
產(chǎn)品描述
型號規(guī)格
技術(shù)參數(shù)
應(yīng)用領(lǐng)域

CX-PRN15 是一款集成皮拉尼（Pirani）與熱陰極（Hot Cathode）技術(shù)的寬量程真空計，適用于從高真空到低真空的連續(xù)測量。該產(chǎn)品具備獨立的真空計功能，帶有5位LED數(shù)字顯示，支持按鍵設(shè)置參數(shù)、兩路可設(shè)置控制開關(guān)、模擬電壓輸出及RS485通訊（Modbus-RTU協(xié)議）。

產(chǎn)品特點

寬量程覆蓋

集成皮拉尼（1.0×10? ~ 1.0×10? Pa）與熱陰極（1.0×10?? ~ 1.0×10? Pa）技術(shù)，實現(xiàn)寬范圍連續(xù)測量。

雙路控制開關(guān)

提供兩路獨立可設(shè)置的控制開關(guān)，可通過按鍵或通訊設(shè)置切換點，適用于真空系統(tǒng)自動控制。

多輸出接口

支持模擬電壓輸出（0-10 VDC）、RS485 Modbus-RTU 通訊。

工作原理

CX-PRN15 采用皮拉尼與熱陰極復(fù)合傳感器技術(shù)。皮拉尼部分基于熱傳導(dǎo)原理，適用于中低真空測量；熱陰極部分基于電離原理，適用于高真空測量。兩者通過智能算法自動切換，實現(xiàn)全量程連續(xù)測量。

電氣連接接口（DB-Sub 9針）

D-Sub 9針母頭焊接側(cè)引腳定義如下：

引腳信號說明
1電源 GND電源地
2電源 +24VDC直流24V正極
3模擬量 GND模擬輸出地
4模擬量輸出真空度對應(yīng)電壓輸出（0-10 VDC）
5控制點輸出 A控制開關(guān)A輸出
6控制點輸出公共點控制開關(guān)公共端
7控制點輸出 B控制開關(guān)B輸出
8RS485 D-RS485通訊數(shù)據(jù)-
9RS485 D+RS485通訊數(shù)據(jù)+

模擬信號輸出

模擬電壓輸出與真空壓強的關(guān)系為：

P = 101.222(U - C) 或 U = C + 0.818·log??(P)

其中：

  • P：真空壓強（Pa、mBar 或 Torr）

  • U：輸出電壓（V）

  • C：單位常數(shù)（Pa: 5.909；mBar: 7.545；Torr: 7.647）

按鍵操作說明

設(shè)備頂部設(shè)有3個按鍵：FN、?（向前）、▼（向下）。

  • 大氣壓強校準：長按FN至LED顯示“ATP”并閃爍，按?鍵，3秒內(nèi)完成校準。

  • 設(shè)置控制點A/B：長按FN至顯示“一”或“二”閃爍，用?選擇項目，▼調(diào)整數(shù)值，松開后自動保存。

  • 單位選擇：長按FN至顯示“U”閃爍，按?循環(huán)切換Pa、Torr、mBar。

控制開關(guān)功能

兩路獨立控制開關(guān)可在1.0×10?1 Pa ~ 9.9×10? Pa范圍內(nèi)設(shè)置切換點。當真空壓強低于設(shè)定值時輸出“ON”，高于設(shè)定值110%時輸出“OFF”。

氣體組分影響與校正

測量結(jié)果受氣體組分影響，出廠以干燥空氣/氮氣校準。其他氣體需乘以校正因子C：

氣體類型校正因子 C
空氣、O?、CO1.0
N?1.0
He5.9
Ne4.1
H?2.4
Ar0.8
Kr0.5
Xe0.4

CX-PRN15 型號規(guī)格

CX-PRN15 系列提供多種配置選項，可根據(jù)接口類型和電控功能進行選型，滿足不同應(yīng)用需求。

技術(shù)參數(shù)表

參數(shù)規(guī)格備注
測量范圍（空氣, N?）1.0×10?? ~ 1.0×10? Pa集成皮拉尼+熱陰極技術(shù)
精度1.0×10?? ~ 1.0×10?? Pa：±35%
1.0×10?? ~ 1.0×10? Pa：±30%
1.0×10? ~ 1.0×10? Pa：±50%		基于空氣/N?校準
重復(fù)性1.0×10?? ~ 1.0×103 Pa：±5%
1.0×10?3 ~ 1.0×10? Pa：±25%		-
耐壓（絕對壓力）1.5×10? Pa最大允許壓力
反應(yīng)時間< 100 ms-
工作溫度0°C ~ +45°C濕度5~85%，不結(jié)露
存儲溫度-40°C ~ +75°C濕度5~90%，不結(jié)露
供電電源24 VDC ±5% / 0.5A整機最大功耗 12.0W
信號輸出5位LED顯示（Pa/Torr/mBar）
RS485 Modbus-RTU
0~10 VDC模擬輸
-
控制開關(guān)2路獨立可設(shè)置開關(guān)切換范圍：1.0×10?1 ~ 9.9×10? Pa
防護等級IP40IEC529標準
真空接口默認：DN25 ISO-KF其他接口可定制
接觸真空材料SS304不銹鋼，Kovar 4150，鎢絲，饋通玻璃-
重量450g（標準KF25法蘭）-
尺寸（H×W×D）130×60×50 mm包括KF25法蘭

氣體校正因子

測量結(jié)果受氣體組分影響，出廠以干燥空氣/氮氣校準。其他氣體需乘以校正因子C：

氣體類型校正因子 C實際壓力 Peff = C × 顯示壓力
空氣、O?、CO1.0與顯示值相同
N?1.0與顯示值相同
He5.9顯示值×5.9
Ne4.1顯示值×4.1
H?2.4顯示值×2.4
Ar0.8顯示值×0.8
Kr0.5顯示值×0.5
Xe0.4顯示值×0.4

選型指南

根據(jù)您的應(yīng)用需求選擇合適的型號配置：

應(yīng)用場景推薦配置推薦理由
實驗室科研設(shè)備CX-PRN15A00（KF25）接口通用，功能完整，適合多種實驗需求
工業(yè)真空系統(tǒng)集成CX-PRN15B01（KF40）大口徑接口，成本優(yōu)化
超高真空設(shè)備CX-PRN15C00（CF25）CF法蘭密封性好，適合高真空環(huán)境
遠程監(jiān)測應(yīng)用CX-PRN15A00（標準配置）支持遠程數(shù)據(jù)采集
成本敏感型應(yīng)用CX-PRN15A02（KF25 + 基礎(chǔ)功能）精簡功能，滿足基本測量需求
半導(dǎo)體制造設(shè)備CX-PRN15D00（CF35 + 全功能）大尺寸CF法蘭，適合工藝腔體集成

溫馨提示：以上為常規(guī)推薦配置，如需特殊定制（如其他真空接口、特殊材料、擴展功能等），請聯(lián)系我們的技術(shù)工程師提供定制化解決方案。

注意事項：對于混合氣體或蒸汽環(huán)境，建議使用殘余氣體分析儀（RGA）進行精確分壓強測量。

主要技術(shù)參數(shù)

反應(yīng)時間 <100ms
重量 450 g
耐壓 1.5×10?Pa
測量范圍 1.0×10?? Pa ~ 1.0×10? Pa
防護等級 IP40（IEC529）
精度 1.0×10?? ~ 1.0×10?? Pa：±35% 1.0×10?? ~ 1.0×10? Pa：±30% 1.0×10? ~ 1.0×10? Pa：±50%
重復(fù)性 1.0×10?? ~ 1.0×103 Pa：±5% 1.0×10?3 ~ 1.0×10? Pa：±25%
工作環(huán)境 0℃ ~ +45℃；濕度 5% ~ 85%，不結(jié)露
存儲環(huán)境 -40℃ ~ +75℃；濕度 5% ~ 90%，不結(jié)露
真空接口 默認 DN25 ISO-KF，其他接口可定制
接觸真空材料 SS304不銹鋼、Kovar 4150、鎢絲、饋通玻璃

注：以上參數(shù)為標準配置，可根據(jù)客戶需求定制特殊規(guī)格產(chǎn)品。

應(yīng)用領(lǐng)域

CX-PRN15 適用于多種需要寬范圍、高可靠性真空測量的工業(yè)與科研場合：

半導(dǎo)體制造

用于PVD、CVD、刻蝕等工藝腔體的真空度監(jiān)測

科研實驗

適用于真空鍍膜、材料分析、表面科學(xué)等實驗室裝置

真空爐與熱處理

用于真空燒結(jié)、釬焊、退火等工藝的真空控制

制藥與生物工程

用于凍干機、滅菌柜、生物反應(yīng)器的真空監(jiān)測

醫(yī)療設(shè)備

用于醫(yī)用真空泵、吸引裝置、消毒設(shè)備的真空控制

工業(yè)真空系統(tǒng)

適用于包裝、注塑、電子束焊接等行業(yè)的真空監(jiān)測

獲取定制化解決方案

我們的工程師將在24小時內(nèi)聯(lián)系您，提供專業(yè)的產(chǎn)品選型建議和技術(shù)支持